![Pháp luật](https://cdn.thuvienphapluat.vn/phap-luat/2022-2/TV/231005/thiet-bi-gay-me-va-ho-hap.jpg)
không. Khi oxy được sử dụng làm khí phản ứng, plasma oxy phản ứng với các chất lây nhiễm hữu cơ như dầu mỡ và đốt cháy chúng tạo thành CO2 và hơi nước. Vì làm sạch bằng plasma áp lực thấp chỉ có thể loại bỏ các chất hữu cơ, các chất cặn vô cơ phát sinh từ việc xử lý thiết bị phải được loại bỏ bằng các biện pháp làm sạch thích hợp trước khi làm sạch