|
(1)
|
Trong đó: SMPPS
là cỡ hạt thấu qua nhiều nhất.
Đề xác định hiệu suất tổng thể, lưu lượng
từng phần đại diện được hút ra trước và phía sau phin lọc của phần tử lọc và được
hướng về máy đếm hạt có gắn đầu đo lấy mẫu cố định để đo số lượng hạt. Cần có
phần trộn phía sau phin lọc thử nghiệm để trộn đều sol khí đồng nhất với không
khí thử nghiệm trên khắp tiết diện ống dẫn (xem 6.1.4).
4.1 Phương pháp thử
nghiệm hiệu suất thay thế đối với phin lọc nhóm H và nhóm U
Phương pháp thử nghiệm hiệu suất tiêu
chuẩn, như đã mô tả ở trên, sử dụng việc trộn sau phin lọc với đầu đo sau phin
lọc đã cố định. Tuy nhiên, phương pháp thử nghiệm hiệu suất thay thế sử dụng
phép thử quét trang bị với đầu đo di chuyển được cung cấp như được nêu trong Phụ
lục A.
4.2 Phương pháp thử
nghiệm hiệu suất thống kê đối với phin lọc hiệu suất thấp - Phin lọc
nhóm E
Đối với phin lọc nhóm E, hiệu suất tổng
thể phải được xác định bằng một trong các quy trình thử nghiệm thống kê đã mô tả
dưới đây và không cần tiến hành phép thử đối với mỗi phần tử bộ lọc riêng lẻ (bắt
buộc đối với phin lọc nhóm H và nhóm U). Hiệu suất tổng thể của các phin lọc
nhóm E phải được xác định bằng lấy trung bình của các kết quả thử nghiệm từ
phép thử rò rỉ thống kê như đã mô tả dưới đây.
Yêu cầu có hồ sơ về dữ liệu phin lọc ở
dạng giấy chứng nhận thử nghiệm hoặc giấy chứng nhận thử nghiệm thay thế của
nhà máy. Tuy nhiên, nhà cung cấp phải có khả năng cung cấp bằng chứng tài liệu để kiểm
tra xác nhận các dữ liệu phin lọc theo yêu cầu. Điều này có thể được thực hiện
bằng cách:
a) Duy trì hệ thống quản
lý chất lượng đã được chứng nhận (ví dụ ISO 9000), có yêu cầu việc áp dụng các
phương pháp dựa trên thống kê để thử nghiệm và lập tài liệu hiệu suất cho phin
lọc nhóm E phù hợp với tiêu chuẩn này; hoặc là
b) Sử dụng các phương pháp thống kê được
chấp nhận để thử nghiệm tất cả các lô sản phẩm phin lọc.
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
Bỏ qua quy trình như đã mô tả trong
TCVN 7790-1 (ISO 2859-1) nghĩa là tại thời điểm bắt đầu, tần số thử nghiệm là
cao và trong quá trình thử nghiệm tiếp theo, được giảm theo kinh nghiệm sản xuất
phát triển và các sản phẩm được sản xuất phù hợp với mục tiêu. Ví dụ, trong tám
lô hàng sản xuất đầu tiên, 100% phin lọc đã sản xuất đều được kiểm tra. Nếu tất
cả các thử nghiệm đều tốt, thì tần suất kiểm tra được giảm đến một nửa trong
tám lô sản xuất tiếp theo. Nếu tất cả các thử nghiệm tiếp theo đều tốt, lại giảm
tần suất kiểm tra tiếp một nửa và như vậy cho đến khi yêu cầu chỉ kiểm tra một trong
tám lô (ví dụ tần suất kiểm tra tối thiểu). Khi một trong các phin lọc được thử
nghiệm không thành công, thì lại tăng tần suất kiểm tra gấp đôi. Trong mọi trường
hợp, số lượng mẫu trên mỗi lô thử nghiệm phải lớn hơn ba phin lọc.
5 Phin lọc thử nghiệm
Phần tử lọc đang được thử nghiệm phải
không được có dấu hiệu hỏng hoặc bất
thường khác. Phần tử lọc phải được xử lý cẩn thận và phải được ghi nhãn rõ ràng
và bền với các chi tiết sau đây:
- Ký hiệu của phần tử lọc;
- Phía trước của phần tử lọc.
Nhiệt độ của phin lọc thử nghiệm trong
quá trình thử nghiệm phải phù hợp với nhiệt độ của không khí thử nghiệm.
6 Thiết bị, dụng cụ
thử nghiệm
Giản đồ dòng khí bố trí thiết bị bao gồm
giàn thử nghiệm được nêu trong Hình 4 của TCVN 11487-1:2016 (ISO 29463-1:2011).
Sơ đồ bên ngoài của giàn thử nghiệm được nêu trong Hình 1.
Các nguyên tắc cơ bản tạo và trung hòa
điện tích sol khí với chi tiết của các loại thiết bị phù hợp cũng như mô tả chi
tiết về các thiết bị đo cần thiết cho việc thử nghiệm được đưa ra trong TCVN
11487-2 (ISO 29463-2).
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
CHÚ DẪN:
1 Phin lọc bụi
thô
2 Bộ lọc bụi mịn
3 Quạt
4 Bộ tản nhiệt
không khí
5 Phin lọc
không khí hiệu suất cao
6 Lối sol khí
vào ống thử
7 Đo nhiệt độ
8 Ẩm kế
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
10 Bộ lấy mẫu,
trước phin lọc
11 Ống vòng để đo
áp suất vi sai
12 Áp kế
13 Bộ lắp ráp
phin lọc thử nghiệm
14 Van gió [xem
TCVN 8113-1 (ISO 5167-1)]
15 Bộ đo áp suất
tuyệt đối
16 Áp kế đo áp
suất vi sai
17 Bộ lấy mẫu,
sau phin lọc
Hình 1 - Ví dụ
về giàn thử nghiệm
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
6.1.1 Ổn định không
khí thử nghiệm
Thiết bị ổn định không khí thử nghiệm
phải bao gồm thiết bị cần thiết để kiểm soát điều kiện của không khí thử nghiệm
sao cho có thể phù hợp với các yêu cầu của Điều 7.
6.1.2 Điều chỉnh
lưu lượng thể tích
Phin lọc phải luôn được thử ở lưu lượng
không khí danh nghĩa. Phải chỉnh lưu lượng thể tích bằng phương pháp thích hợp
(ví dụ: như bằng cách thay đổi tốc độ của quạt hoặc với van gió) đến giá trị
lưu lượng danh nghĩa ± 5%, mà sau đó phải được duy trì liên tục ở ± 2% trong mỗi
phép thử.
6.1.3 Đo lưu lượng
thể tích
Lưu lượng thể tích phải được đo bằng
cách sử dụng phương pháp đã tiêu chuẩn hóa hoặc đã hiệu chuẩn (ví dụ đo áp suất
vi sai sử dụng van gió tiêu chuẩn, chẳng hạn như các tấm tiết lưu, vòi phun, ống
Venturi theo TCVN 8113-1 (ISO 5167-1).
Sai lỗi giới hạn của phép đo không được
quá 5% giá trị đo được.
6.1.4 Phần trộn sol
khí
Đầu vào sol khí và phần trộn (xem ví dụ
trong Hình 1) phải được cấu tạo sao cho nồng độ sol khí đo được tại các điểm
riêng rẽ của tiết diện ống dẫn, phía trước trực tiếp với phin lọc thử nghiệm,
không được lệch quá 10% giá trị trung bình của ít nhất chín điểm đo trên tiết diện
ngang của kênh thử.
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
Bộ lắp ráp phin lọc thử nghiệm phải đảm
bảo rằng phin lọc thử nghiệm phải kín và theo lưu lượng yêu cầu. Bộ lắp ráp
phin lọc thử nghiệm phải không bị cản trở ở mọi điểm trên diện tích mặt cắt
ngang.
6.1.6 Các điểm đo
giảm áp
Các điểm đo giảm áp phải được bố trí
sao cho giá trị trung bình của áp suất tĩnh trong trước và sau phin lọc có thể
được đo. Mặt phẳng của các phép đo áp suất trước và sau phin lọc phải được định
vị trong vùng có dòng chảy đều có mặt cắt đồng nhất.
Trong các ống dẫn hình chữ nhật hoặc
hình vuông, các lỗ trơn có đường kính từ 1 mm đến 2 mm để đo áp suất phải được
khoan ở giữa thành ống, vuông góc với hướng của dòng chảy. Bốn lỗ phải được kết
nối với nhau bằng một ống tròn.
6.1.7 Lấy mẫu
Để xác định hiệu suất, các lưu lượng từng
phần được lấy ra từ lưu lượng thể tích thử nghiệm bằng đầu đo lấy mẫu và dẫn đến
các máy đếm hạt. Đường kính của đầu đo phải được chọn sao cho điều kiện đồng động
lực được duy trì trong ống với lưu lượng thể tích đã cho đối với mẫu. Bằng cách
này, các lỗi lấy mẫu có thể được bỏ qua do cỡ hạt sol khí thử nghiệm nhỏ. Những
đoạn nối đến máy đếm hạt phải càng ngắn càng tốt. Các mẫu ở trước phin lọc được
lấy bằng đầu đo lấy mẫu cố định ở trước phin lọc thử nghiệm. Việc lấy mẫu phải
đại diện, dựa trên nồng độ sol khí đo được từ mẫu không đi lệch quá ± 10% so với
giá trị trung bình được xác định theo 6.1.4.
Đầu đo lấy mẫu cố định cũng được đặt
sau phin lọc, đặt trước phần trộn sao cho đảm bảo phép đo là đại diện của nồng
độ sol khí sau phin lọc. Điều này được thực hiện khi xảy ra trường hợp rò rỉ lớn
nhân
tạo
trong phin lọc thử nghiệm, nồng độ sol khí sau phin lọc đo được tại điểm bất kỳ
lệch quá ± 10% so với giá trị trung bình của ít nhất chín điểm đo trên khắp tiết
diện ngang ống dẫn. Tuy nhiên, cần xác minh trước rằng sự rò rỉ nhân tạo là đủ
lớn để tăng sự thấu qua bộ lọc ít nhất năm lần so với sự thấu qua của phin lọc
không bị rò rỉ.
Nồng độ sol khí trung bình đã xác định
tại các điểm lấy mẫu trước và sau phin lọc mà không có phin lọc đặt không đúng
vị trí sẽ khác nhau quá 5%.
6.2 Thiết bị đo
và tạo sol khí
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
Cỡ hạt trung bình của sol khí thử nghiệm
đơn phân tán không được sai lệch MPPS quá ± 10%. Cho phép sai lệch ± 50% khi sử
dụng sol khí đa phân tán.
Năng suất hạt của bộ tạo sol khí phải
được điều chỉnh theo lưu lượng thể tích thử nghiệm và hiệu suất suất lọc, sao
cho tỷ lệ đếm phía trước và sau phin lọc nằm trong giới hạn trùng hợp ngẫu
nhiên của máy đếm (lỗi trùng hợp ngẫu nhiên tối đa là 10% theo ISO 21501-4) và
cao hơn đáng kể so với tỷ lệ đếm “zero” của thiết bị.
Nồng độ phân bố số lượng của sol khí
thử nghiệm có thể được xác định bằng sử dụng hệ thống phân tích cỡ hạt
phù hợp (ví dụ: máy phân tích cỡ hạt linh độ vi sai, DMPS) hoặc bằng máy đếm hạt
laser phù hợp cho các mục đích của phép thử này. Lỗi giới hạn của phương pháp
đo thường được sử dụng để xác định giá trị trung bình số hạt phải không quá ±
20% so với giá trị đo.
Số lượng hạt đếm đo được trước và sau
phin lọc phải đủ lớn để có được kết quả có ý nghĩa thống kê mà không có nồng độ
nào vượt quá dải đo của máy đếm hạt trước phin lọc. Nếu nồng độ số đếm trước
phin lọc vượt quá dải đo của máy đếm hạt (trong chế độ đếm), thì phải lắp một hệ
thống pha loãng vào giữa điểm lấy mẫu và máy đếm.
Việc đếm hạt có thể được tiến hành bằng
cách sử dụng một cặp máy đếm vận hành song song ở hai phía trước và sau phin lọc
hoặc sử dụng một máy đếm hạt đơn lẻ để đo nồng độ số lượng ở hai phía trước và
sau phin lọc luân phiên. Nếu các phép đo chỉ được thực hiện với một máy đếm, thì phải đảm bảo rằng
các tính chất có liên quan của sol khí thử nghiệm (ví dụ: nồng độ số lượng,
phân bố cỡ hạt, sự phân bố đồng nhất trên tiết diện ngang) được duy trì không đổi
theo thời gian. Nếu sử dụng hai máy đếm hạt song song, thì cả hai máy được sử dụng
phải cùng loại và được hiệu chuẩn như thiết bị kép.
6.2.1 Thiết bị, dụng
cụ để thử nghiệm với sol khí đơn phân tán
Vì lý do kỹ thuật, sự phân bố cỡ hạt
được tạo ra bằng bộ tạo sol khí thường “gần như” đơn phân tán.
Khi sử dụng sol khí đơn phân tán để thử
nghiệm hiệu suất của phần tử lọc, có thể sử dụng không chỉ máy đếm hạt quang mà
còn cả máy đếm hạt
ngưng tụ.
Khi sử dụng máy đếm hạt ngưng tụ, cần
phải được đảm bảo rằng sol khí thử nghiệm không chứa một lượng đáng kể các hạt
mà nhỏ hơn rất nhiều so với MPPS. Các hạt như vậy, ví dụ: có thể được tạo ra bằng
bộ tạo sol khí không còn làm việc đúng cách, cũng được đếm bằng máy đếm hạt
ngưng tụ và có thể dẫn đến sai số đáng kể trong việc xác định hiệu suất. Một
cách để kiểm tra lỗi này là xác định sự phân bố số lượng sol khí thử nghiệm bằng
thiết bị đo mà sự mở rộng dải đo từ giới hạn dưới của máy đếm hạt ngưng tụ đến
cỡ hạt khoảng 1 μm. Sự phân bố số lượng được xác định vì vậy phải gần như đơn
phân tán và không có nồng độ của các hạt rất nhỏ.
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
6.2.2 Thiết bị, dụng
cụ thử nghiệm với sol khí thử nghiệm đa phân tán
Khi xác định hiệu suất của phần tử lọc
sử dụng sol khí thử nghiệm đa phân tán, thì nồng độ số lượng hạt và phân bố cỡ
hạt phải được xác định bằng cách sử dụng máy đếm hạt quang học (ví dụ: máy đếm
hạt laser).
Thiết bị để thử nghiệm với sol khí đa
phân tán được nêu trong Hình 3.
CHÚ DẪN:
1 Phin lọc sơ bộ
không khí thử nghiệm
2 Quạt kiểm
soát tốc độ thay đổi được
3 Bộ tản nhiệt
không khí
4 Lối vào sol
khí trong ống dẫn
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
6 Đo nhiệt độ,
áp suất khí áp và độ ẩm tương đối
7 Phần trộn trước
phin lọc
8 Điểm lấy mẫu
để phân tích cỡ
hạt
9 Hệ thống phân
tích cỡ hạt (DMPS hoặc OPC)
10 Điểm lấy mẫu
đếm hạt trước phin lọc
11 Hệ thống pha
loãng (tùy chọn)
12 Máy đếm hạt
trước phin lọc (CPC hoặc OPC)
13 Phin lọc thử
nghiệm
14 Đo độ giảm áp qua phin lọc thử nghiệm
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
16 Phần trộn sau
phin lọc
17 Điểm lấy mẫu
đếm hạt sau
phin lọc
18 Máy đếm hạt
sau phin lọc
19 Máy tính để kiểm
soát và ghi kết quả đo
Hình 2 - Thiết
bị để thử nghiệm với sol khí đơn phân tán
CHÚ DẪN:
1 Phin lọc sơ bộ
không khí thử nghiệm
2 Quạt kiểm
soát tốc độ thay đổi được
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
4 Lối vào sol
khí trong ống dẫn
5 Máy tạo sol
khí đa phân tán
6 Đo nhiệt độ,
áp suất và độ ẩm tương đối
7 Phần trộn trước
phin lọc
8 Điểm lấy mẫu
phân tích cỡ hạt trước phin lọc
9 Hệ thống pha
loãng (tùy chọn)
10 OPC trước
phin lọc
11 Phin lọc thử
nghiệm
12 Đo giảm áp
qua phin
lọc
thử nghiệm
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
14 Phần trộn trước
phin lọc
15 Điểm lấy mẫu
đếm hạt sau phin lọc
16 OPC sau phin
lọc
17 Máy tính để
kiểm soát và ghi kết quả đo
Hình 3 - Thiết
bị thử nghiệm với sol khí đa phân tán
Ở mức tối thiểu, dải đo của máy đếm hạt quang
học được sử dụng để thử nghiệm hiệu suất phải bao gồm ít nhất dải
cỡ hạt từ đến 1,5 x SMPPS, trong đó SMPPS
là cỡ hạt thấu qua nhiều nhất.
Sự phân bố của các giới hạn kênh phải
sao cho có một giới hạn kênh (dưới) trong dải đường kính từ đến (Hình 4, dải II a) và một giới hạn
kênh (trên) trong dải đường kính từ 1,5 x SMPPS đến 2 x SMPPS (Hình 4, dải
II b). Từ quan điểm thực tế, đối với vật liệu lọc được sử dụng phổ biến nhất,
các kênh đường kính từ 0,1 μm đến 0,2 μm và từ 0,2 μm đến 0,3 μm thường có sẵn
trong hầu hết các máy đếm hạt quang học ngoài thị trường, có thể đáp ứng đầy đủ
yêu cầu này.
Cụ thể, đối với các dải đo khác nhau của
MPPS thường gặp, dải đo được khuyến nghị của máy đếm hạt quang học được sử dụng
trong thử nghiệm hiệu suất phải bao gồm các cỡ hạt đã nêu trong Công thức (1) (Hình 4, dải
I):
đến
1,5 x SMPPS
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
Trong đó: SMPPS là cỡ
hạt thấu qua nhiều nhất.
Sự phân bố của các loại cỡ hạt phải
sao cho mỗi giới hạn phân loại đáp ứng một trong các điều kiện được nêu ra trong
Công thức (2) (như trong Hình 4, dải II a) hoặc Công thức (3) (như trong Hình
4, dải II b);
đến
1,5 x SMPPS
(2)
Trong đó CLL là giới hạn
kênh dưới.
1,5 x SMPPS ≤
CUL < 2 x SMPPS
(3)
Trong đó CUL là giới hạn
kênh trên.
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
Hình 4- Hiệu
suất cỡ hạt,
E và
các dải đo cho phép liên quan đến hiệu suất tối thiểu (MPPS = 0,18 μm) và sự
phân bố số lượng,
f,
của sol khí thử nghiệm đa phân tán dp = 0,23 pm
7 Điều kiện của
không khí thử nghiệm
Không khí thử nghiệm phải được ổn định
trước khi được trộn với sol khí thử nghiệm, sao cho nhiệt độ, độ ẩm tương đối
và độ sạch tuân thủ các yêu cầu đã quy định trong TCVN 11487-1:2016 (ISO
29463-1:2011), 7.3.
8 Cách tiến hành
8.1 Kiểm tra sơ
bộ
Sau khi bật thiết bị thử nghiệm, phải
kiểm tra các thông số sau đây:
a) Sự sẵn sàng vận hành của thiết bị
đo:
Các máy đếm hạt ngưng tụ phải được làm
đầy chất lỏng vận hành.
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
b) Tốc độ đếm “zero” của máy đếm hạt:
Việc đo tốc độ đếm “zero” phải được tiến
hành bằng cách sử dụng không khí thổi rửa không chứa hạt.
c) Áp suất tuyệt đối, nhiệt độ và độ ẩm
tương đối của không khí thử nghiệm.
Các thông số này phải được kiểm tra để
đảm bảo rằng
chúng phù hợp với 7.3 trong TCVN 11487-1:2016 (ISO 29463-1: 2011) và nếu không,
cần phải thực hiện hiệu chính thích hợp.
8.2 Khởi động máy
tạo sol khí
Khi bắt đầu khởi động máy tạo sol khí,
phần tử lọc dự
phòng phải được lắp vào bộ lắp ráp phin lọc thử nghiệm.
Sau khi điều chỉnh các thông số vận
hành của máy tạo sol khí và quan sát thời gian chờ sau khi khởi động thích hợp,
phải thử nghiệm nồng độ hạt và sự phân bố của sol khí thử nghiệm để đảm bảo
chúng là phù hợp với 6.2. Nồng độ và sự phân bố sol khí thử nghiệm phải được
xác định càng gần với bộ lắp ráp phin lọc thử nghiệm càng tốt.
8.3 Chuẩn bị phin
lọc thử nghiệm
8.3.1 Cài đặt phin
lọc thử nghiệm
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
Sự gắn kín giữa phin lọc thử nghiệm với
bộ lắp ráp phin lọc thử nghiệm phải không có rò rỉ.
8.3.2 Thổi rửa phin
lọc thử nghiệm
Để giảm sự tự phát thải của các hạt từ
phin lọc thử nghiệm và để cân bằng nhiệt độ của phin lọc thử nghiệm và không
khí thử nghiệm, phin lọc thử nghiệm phải được thổi rửa bằng không khí thử nghiệm
với lưu lượng thể tích danh nghĩa trong một thời gian dài phù hợp. Sau đó, sự tự
phát thải hạt còn lại
có thể được đo tại máy đếm hạt sau phin lọc.
8.4 Thử nghiệm
8.4.1 Đo độ giảm áp
suất
Sự giảm áp suất qua phin lọc thử nghiệm
phải được đo trong tình trạng không tải bằng cách sử dụng không khí thử nghiệm
sạch. Lưu lượng thể tích danh nghĩa phải được thiết lập phù hợp với 6.1.2. Các
phép đo phải được thực hiện khi đã đạt được trạng thái vận hành ổn định.
8.4.2 Thử nghiệm với
sol khí thử nghiệm đơn phân tán
Trong phần pha trộn, không khí thử
nghiệm được trộn với sol khí thử nghiệm có đường kính trung bình tương ứng với
cỡ hạt, MPPS, tại mức hiệu suất tối thiểu của vật liệu lọc dạng tấm (độ lệch ±
10%, xem 6.2).
Nồng độ hạt được đo ở hai phía trước
và sau phin lọc. Phép đo này có thể được tiến hành bằng cách sử dụng hoặc một cặp
máy đếm hạt vận hành song song hoặc một máy đếm đơn lẻ để đo nồng độ hạt
ở hai phía trước và sau phin lọc luân phiên. Nồng độ số lượng hạt trước phin lọc
và khoảng thời gian đo phải được chọn sao cho chênh lệch giữa số hạt đếm được
và số hạt tối thiểu về phía trước phin lọc (tương ứng với giới hạn dưới của dải
tin cậy 95% với phân bố Poisson, xem TCVN 11487-2 (ISO 29463-2)) không thay đổi
quá 5% so với số hạt đo được (tương ứng với ít nhất là 1,5 x 103
hạt), về phía sau phin Ipc, chênh lệch giữa số hạt tối đa (tương ứng với giới hạn
trên của khoảng tin cậy 95% của phân bố Poisson, xem TCVN 11487-2 (ISO
29463-2)) và số hạt đếm được phải không lệch hơn 20% (tương ứng với ít nhất 100
hạt) từ số hạt đo được (xem Bảng 1).
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
8.4.3 Thử nghiệm với
sol khí thử nghiệm đa phân tán
Phép thử nghiệm được thực hiện phù hợp
với 8.4.2 sử dụng sol khí đa phân tán, đường kính trung bình của hạt không được
lệch so với MPPS hơn 50% (xem
6.2).
Khi thử nghiệm với sol khí thử nghiệm
đa phân tán, trái ngược với thử nghiệm sử dụng sol khí thử nghiệm đơn phân tán,
nồng độ phân bố số hạt và nồng độ số hạt được đo bằng máy đếm hạt quang học. Để
xác định hiệu suất, nồng độ số lượng trước và sau phin lọc thu được đối với tất
cả các loại cỡ
hạt
mà nằm hoàn toàn hoặc một phần trong dải đến 1,5 x SMPPS
(xem
6.2.2).
9 Đánh giá
Sự thấu qua, P, tính theo phần
trăm, được tính theo Công thức (4) sau đây:
(4)
Trong đó:
cN,d là nồng độ sau
phin lọc, bằng
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
Nu là số lượng hạt trước
phin lọc;
Nd là số lượng hạt sau
phin lọc;
kD là hệ số pha
loãng;
Vs,u là lưu lượng
thể tích lấy mẫu trước phin lọc;
Vs,d là lưu lượng
thể tích lấy mẫu sau phin lọc;
tu là thời gian lấy mẫu
trước phin lọc;
tp là thời gian lấy mẫu
sau phin lọc.
Hiệu suất, E, tính theo
phần trăm, được tính theo Công thức (5) sau đây:
E = 1 - P
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
Để tính hiệu suất tối thiểu, E95%min, thì phải sử
dụng giá trị giới hạn ít thích hợp đối với khoảng tin cậy 95% của số đếm hạt thực
tế làm cơ sở cho việc tính toán. Việc tính toán phải tính đến số liệu thống kê
đếm hạt đã quy định trong Điều 7 của TCVN 11487-2:2016 (ISO 29463-2:2011). Các
giá trị cho dải tin cậy 95% phải được tính chỉ với dữ liệu đếm sạch mà không hiệu
chính về hệ số
pha loãng. Hiệu suất tối thiểu, E95%min, tính theo phần
trăm, có tính đến thống kê đếm hạt, được tính bằng Công thức (6) sau đây:
(6)
Trong đó:
cN,d,95%max là nồng độ hạt
sau phin lọc tối đa, bằng ;
cN,u,95%min là nồng độ hạt
trước phin lọc tối
đa, bằng ;
Nd,95%max là giới hạn
trên của dải tin cậy 95% của số đếm hạt sau phin lọc, được tính theo TCVN
11487-2 (ISO 29463-2), bằng ;
Nu,95%max là giới hạn dưới của dải tin
cậy 95% của số đếm hạt trước phin lọc, được
tính theo TCVN 11487-2 (ISO 29463-2), bằng ;
Nếu hướng dẫn của nhà sản
xuất về máy đếm hạt bao gồm cả các hiệu chính trùng hợp ngẫu nhiên đối với nồng
độ đo được, thì chúng phải được tính đến trong việc đánh giá.
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
Bảng 1 đưa ra tính toán mẫu về độ
không đảm bảo thống kê đối với phép đo hiệu suất.
10 Báo cáo thử nghiệm
Báo cáo thử nghiệm về phép thử hiệu suất
của phần tử lọc phải có ít nhất các thông tin sau:
a) Thông tin chung về thử nghiệm:
1) Phần tử lọc (kiểu dạng và kích thước),
2) Kiểu máy đếm hạt được sử dụng
3) Lưu lượng thể tích danh nghĩa,
4) Cỡ hạt ở hiệu suất tối thiểu của
MPPS vật liệu lọc,
5) Sol khí thử nghiệm (chất, đường
kính trung bình, độ lệch chuẩn hình học, nồng độ),
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
b) Kết quả thử nghiệm:
1) Độ giảm áp qua bộ lọc thử nghiệm
khi bắt đầu thử nghiệm,
2) Đếm hạt (trước phin lọc),
3) Đếm hạt (sau phin lọc),
4) Hiệu suất, E,
5) Hiệu suất tối thiểu, E95%min,
6) Loại phin lọc ISO đạt được theo Bảng
1 của
TCVN
11487-1:2016 (ISO 29463-1:2011).
Bảng 1 - Độ
không đảm bảo thống kê khi đo hiệu suất - Ví dụ về tính toán
Thông số thử
nghiệma
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
ISO 15 E
ISO 25 E
ISO 35 H
ISO 45 H
ISO 55 U
ISO 65 U
ISO 75 U
124 825
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
124 825
124 825
1 872 380
1 872 380
1 872 380
124 133
124133
124 133
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
1 869 698
1 869 698
1 869 698
cN,u tính bằng cm-3
10 587
10 587
10 587
10 587
158 811
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
158 811
cN,u,min tính bằng cm-3
10 529
10 529
10 529
10 529
158 583
158 583
158 583
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
250
250
250
250
250
1 000
1 000
Nd
1 716 348
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
17 163
1716
2 575
1 030
103
Nd,95%max
1 718 916
172 447
17 420
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
2 674
1 093
123
cN,d tính bằng cm-3
291
29,1
2,91
0,29
0,44
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
0,004 4
cN,d,max tính bằng cm-3
292
29,3
2,95
0,30
0,45
0,046
0,005 2
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
97,25
99,725
99,972 5
99,997 25
99,999 725
99,999 972 5
99,999 997
25
Emin, tính bằng %
97,23
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
99,971 9
99,997 10
99,999 714
99,999 970 7
99,999 996
70
, tính bằng %
0,55
0,55
0,55
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
0,14
0,14
0,14
, tính bằng %
0,15
0,47
1,50
4,78
3,84
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
19,42
a Các thông số tiêu chuẩn trước phin lọc
không đổi: Vs = 23,58 cm3/s; tu
= 50 s; hệ số pha loãng kD 100.
b Số đếm hạt
thực tế mà không cho phép đối với hệ số pha loãng.
c Sử dụng thống
kê Poisson.
11 Bảo dưỡng và kiểm
tra thiết bị, dụng cụ thử nghiệm
Tất cả các thành phần và các dụng cụ
đo của thiết bị thử nghiệm phải được định kỳ bảo dưỡng, kiểm tra và hiệu chuẩn.
Việc bảo dưỡng và kiểm tra cần thiết được
liệt kê trong Bảng 2 và phải được tiến hành ít nhất một lần trong thời gian đã
quy định. Trong trường hợp có nhiễu loạn mà cần thực hiện bảo dưỡng, hoặc sau
khi có sự thay đổi lớn hoặc làm mới lại, thì phải tiến hành kiểm tra và, nếu
thích hợp, hiệu chuẩn ngay.
Chi tiết của việc bảo dưỡng và kiểm
tra đã được quy định trong TCVN 11487-2 (ISO 29463-2), cũng có chứa các chi tiết
về hiệu chuẩn của tất cả các thành phần và các dụng cụ đo của thiết bị thử nghiệm.
Bảng 2 - Tóm tắt các
khoảng thời gian kiểm tra và bảo dưỡng của các thành phần lắp đặt thử nghiệm
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
Kiểu và tần
suất bảo dưỡng/ kiểm tra
Bộ phận vận hành
Kiểm tra hàng ngày, thay sau khi sử
dụng
Hệ thống chuẩn bị không khí thử nghiệm:
Kênh thử nghiệm
Toàn bộ hệ thống
Phin lọc không khí thử nghiệm
Phin lọc không khí thải
Hàng năm
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
Máy tạo sol khí
Theo hướng dẫn của nhà sản xuất và
theo TCVN 11487-2 (ISO 29463-2)
Ống dẫn sol khí vào dụng cụ đo
Làm sạch hàng năm hoặc sau khi thay
đổi sol khí
Máy đo lưu lượng thể tích
Hàng năm hoặc sau khi thay thế dụng
cụ
Độ kín khí của các phần thiết bị ở
áp suất thấp
Kiểm tra nếu tốc độ đếm “zero” của
máy đếm hạt không đạt yêu cầu
Độ kín khí của van bật
điểm thử nghiệm (nếu có)
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
Độ sạch của không khí thử nghiệm
Kiểm tra hàng tuần
Phụ
lục A
(Quy
định)
Phương pháp thử nghiệm hiệu suất thay thế thử
nghiệm quét
A.1 Khái quát
Phương pháp thử nghiệm hiệu suất tiêu
chuẩn như đã mô tả trong phần chính của tiêu chuẩn này, sử dụng hỗn hợp khí trộn
sau phin lọc và đầu đo sau phin lọc cố định. Phụ lục này đưa ra phương pháp thử
nghiệm hiệu suất thay thế sử dụng thiết bị quét thử nghiệm với đầu đo di động
phía sau phin lọc thử nghiệm. Kết quả thử nghiệm thu được tương tự với
kết quả thu được bằng phương pháp thử nghiệm hiệu suất tiêu chuẩn [EN 1822 (tất
cả các phần)]. Phương pháp thử nghiệm này với đầu đo di động có thể khắc phục
được những khó khăn để đạt được các dòng không khí sau phin lọc đồng nhất khi thử
nghiệm phin lọc có kích thước bề mặt lớn (ví dụ trên 1,2 m x 0,6 m).
Phương pháp nêu trong phụ lục này xác
định hiệu suất tổng thể của phin lọc bằng cách đo nồng độ trước phin lọc như đã
mô tả trong phần nội dung chính của bộ tiêu chuẩn TCVN 11487 (ISO 29463) và
tích hợp cũng như tính trung bình các số đọc sau phin lọc từ kết quả của phép
thử rò rỉ (phương pháp quét).
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
Giàn thử nghiệm đối với phương pháp thử
nghiệm hiệu suất thay thế phù hợp với phụ lục này được mô tả trong Hình 1 và
Hình 2 của TCVN 11487-4 (ISO 29463-4:2011).
Phương pháp thử nghiệm hiệu suất thay
thế này có thể chỉ được áp dụng cho phin lọc đã được chứng minh không rò rỉ phù
hợp với định nghĩa trong TCVN 11487-1 (ISO 29463-1) và TCVN 11487-4 (ISO
29463-4). Điều này có nghĩa rằng khi quét rò rỉ theo TCVN 11487-4 (ISO
29463-4), được thực hiện đầu tiên, dữ liệu được phân tích theo TCVN 11487-4
(ISO 29463-4) để kiểm tra xác nhận sự không có rò rỉ, nếu đúng, thì dữ liệu sau
đó được phân tích theo phụ lục này để xác định hiệu suất.
Việc lấy mẫu sau phin lọc được tiến
hành như đối với phương pháp quét [TCVN 11487-4 (ISO 29463-4)] trực tiếp phía
sau phin lọc thử nghiệm, sử dụng một hoặc một số đầu đo lấy mẫu đi qua toàn bộ
diện tích tiết diện ngang của phin lọc và khung của nó trong các vạch chồng lấn không có bất
kỳ khe hở nào.
Các thiết bị thử nghiệm tương ứng với
nhiều thiết bị được sử dụng với đầu đo lấy mẫu tĩnh. Sự khác nhau trong phương
pháp quét là không có bộ phận pha trộn sau phin lọc và thay vào đó là hệ thống
vạch ba chiều bao gồm cả vạch sau phin lọc làm di chuyển đầu đo. Vì ống dẫn thử
nghiệm là thường mở ở cuối phía sau phin lọc, nên cần thực hiện các quy định để
ngăn chặn không khí nhiễm bẩn bên ngoài đi vào dòng không khí thử nghiệm.
Trong phương pháp thử nghiệm hiệu suất
quét, tất cả các hạt đếm được trong toàn bộ quá trình quét sau phin lọc trong thử
nghiệm rò rỉ được gộp lại với nhau. Cũng như đo thời gian lấy mẫu. Tổng số hạt sau phin lọc
được lấy trung bình cho toàn bộ thời gian cũng như phân tích lưu lượng thể tích
mẫu để thu được số đếm hạt sau phin lọc trên đơn vị thể tích.
Với nồng độ hạt sau phin lọc này, hiệu
suất được tính theo tương tự với cách đã mô tả trong phần chính của tiêu chuẩn
này.
Phụ
lục B
(Tham
khảo)
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
B.1 Đặt vấn đề
Phin lọc nhóm E, nhóm H và chủ yếu là
nhóm U với vật liệu lọc màng PTFE mở rộng (eMembrane) được sử dụng để thay thế
cho phin lọc truyền thống sử dụng vật liệu sợi vi thủy tinh. Trong các lĩnh vực
ứng dụng quan trọng nhất định (ví dụ như vi điện tử), phin lọc với vật liệu lọc
màng có tính chất mà vật liệu lọc thủy tinh không có. Mặc dù các loại vật liệu
lọc này là các màng, chúng có cấu trúc dạng sợi và do đó, các tính chất giữ hạt
tương tự với tính chất lưu hạt của môi trường sợi thủy tinh. Tuy nhiên, người sử
dụng loại phin lọc này cần phải biết hai đặc điểm riêng biệt mà có thể ảnh hưởng
đến thử nghiệm và hiệu/tính năng trong sử dụng.
B.2 MPPS của
phin lọc với vật liệu lọc màng
Cấu trúc cỡ sợi trung bình của vật liệu
lọc màng là nhỏ hơn
nhiều so với môi trường sợi siêu nhỏ như môi trường sợi tổng hợp hoặc môi trường
sợi thủy tinh, dẫn đến MPPS nhỏ hơn đáng kể 0,1 μm (khoảng 0,07 μm thường được
sử dụng với màng PTFE). Để so sánh, MPPS đối với vật liệu lọc sợi thủy tinh
siêu nhỏ tương tự được đặc thù từ 0,1 μm đến 0,25 μm. Do đó, thử nghiệm tính đa
dạng của phin lọc này tại MPPS của chúng [như quy định trong bộ TCVN 11487 (ISO
29463)] yêu cầu khả năng phát hiện hạt nhỏ đến 0,05 μm, mà cũng nằm ngoài dải hữu
ích của máy đếm hạt laser. Do đó, các bộ lọc màng yêu cầu sử dụng các CPC nhạy
với các cỡ hạt nhỏ này. Thử nghiệm vật liệu lọc màng với máy tạo hạt có sẵn
trên thị trường, ví dụ,
hạt DEHS 0,15 μm và các máy đếm hạt laser với giới hạn phát hiện thấp hơn 0,1 μm
thường dẫn đến việc thấu qua ít nhất thấp hơn một bậc so với máy đếm hạt tại
MPPS. Việc phân loại các phin lọc như vậy theo các nguyên tắc của bộ TCVN 11487
(ISO 29463) dựa trên các giá trị MPPS là không thể trực tiếp.
B.3 Độ thấu qua
nhất quán và tính đồng đều của vật liệu lọc màng
Không giống như các vật liệu lọc sợi
thủy tinh siêu nhỏ truyền thống, môi trường màng lọc là một lớp màng mỏng (ví dụ
0,02 mm) có cấu trúc dạng sợi. Vì màng lọc quá mỏng để xử lý nên màng được phủ
lên trên tấm lưới để dễ dàng hơn trong việc xử lý sao cho có thể có hoặc không
thể ảnh hưởng đến việc lọc. Ảnh hưởng của tính nhất quán và ổn định của một lớp
trên tính chất lọc của nó luôn luôn là một vấn đề trong thực tế. Do đó, một số
nhà sản xuất phù lớp màng để bù một phần cho phần không đồng đều và cho sự rò rỉ
trong mỗi lớp màng. Đối với phép đo thấu qua trên môi trường màng một lớp, một
phép đo sai lệch cục bộ về sự thấu qua của ít nhất là hai bậc.
B.4 Quy trình thử
nghiệm và phân loại phin lọc với vật liệu lọc màng
B.4.1 Thấu qua toàn
bộ
B.4.1.1 Quy trình
tiêu chuẩn
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
Đo sự thấu qua toàn bộ của phần tử lọc
bằng vật liệu lọc màng theo tiêu chuẩn này với sol khí DEHS tại MPPS của nó (đặc
thù từ 0,06 μm đến 0,08 μm), sử dụng các phương pháp tạo sol khí và phương pháp
phát hiện tương ứng (CPC đặc thù).
Các máy đếm hạt sử dụng cho quy trình/phép đo
này phải có hiệu suất đếm ít nhất 50% ở cỡ hạt SMPPS/1,5.
B.4.1.2 Quy trình
thay thế
Quy trình này được áp dụng nếu không
thể thực hiện quy trình tiêu chuẩn đã mô tả trong B.4.1.1 do thiếu thiết bị đo
thích hợp.
Xác định MPPS và đo sự thấu qua tấm phẳng
của vật liệu lọc màng tại cỡ hạt MPPS đối với tốc độ không khí tương ứng với
lưu lượng không khí danh nghĩa của phần tử lọc theo TCVN 11487-3 (ISO 29463-3).
Ngoài ra cũng đo độ thấu qua đối với cỡ hạt (0,14 ± 0,02) μm của vật liệu lọc tấm
phẳng theo TCVN 11487-3 (ISO 29463-3). Định ra mối tương quan (hệ số) giữa hai
giá trị độ thấu qua như đã nêu trong Công thức (B.1):
F = PMPPS/P0,14μm
(B.1)
Đo độ thấu qua toàn bộ của phần tử lọc
với vật liệu lọc màng phù hợp với tiêu chuẩn này với sol khí DEHS có cỡ hạt
(0,14 ± 0,02) μm, sử dụng máy đếm hạt laser có giới hạn phát hiện dưới là 0,1 μm.
CHÚ THÍCH: Đối với vật liệu lọc màng, không đo
MPPS.
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
B.4.2.1 Quy trình tiêu
chuẩn
Nếu độ thấu qua toàn bộ đã được đo bằng
quy trình tiêu chuẩn (MPPS) theo B.4.1.1, thì phân loại vật liệu lọc màng theo Bảng 1 của
TCVN 11487-1:2016 (ISO 29463-1:2011), sử dụng các giá trị hiệu suất đo thực tế.
B.4.2.2 Quy trình
thay thế
Nếu độ thấu qua đầy đủ được đo bằng quy
trình thay thế (không phải là MPPS) theo B.4.1.2, thì áp dụng hệ số tương quan,
F, được xác định bằng phép đo tấm phẳng để định ra độ thấu qua MPPS đã
tính, PMPPS-C, theo Công thức (B.2):
PMPP-C = F x P0,14μm
(B.2)
Phân loại vật liệu lọc màng theo Bảng
1 của TCVN 11487-1:2016 (ISO 29463-1:2011) sử dụng độ thấu qua MPPS tính được, PMPPS-C
B.4.3 Độ thấu qua cục
bộ
Đo phần tử lọc với vật
liệu lọc màng về độ thấu qua cục bộ bằng phương pháp thử nghiệm quét như đã mô
tả trong TCVN 11487-4 (ISO 29463-4). Các tiêu chí rò rỉ được sử dụng được nêu
trong Bảng 1 của TCVN
11487-1:2016 (ISO 29463-1:2011), đối với loại phin lọc trong đó phin lọc đã được
phân loại như trong B.4.2. Phin lọc có thể được thử nghiệm rò rỉ hoặc với sol
khí MPPS thực hoặc với sol khí có cỡ hạt 0,14 pm, vì đối với thử nghiệm rò rỉ
thì cỡ hạt sol khí không ảnh hưởng đáng kể đến kết quả.
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
Đối với việc công bố số liệu, báo cáo
thử nghiệm và ghi nhãn sản phẩm được thực hiện với của vật liệu lọc màng, áp dụng
các quy tắc sau đây bổ sung cho các thông tin trong Điều 10.
- Chỉ thị rằng vật liệu lọc là vật liệu
lọc màng;
- Chỉ thị rằng phép đo hiệu suất toàn
bộ và phép đo hiệu suất cục bộ cũng như việc phân loại theo Phụ lục B của
TCVN 11487-5:2016 (ISO 29463-5:2011).
- Chỉ thị rằng độ thấu qua đầy đủ MPPS
được đo bằng quy trình tiêu chuẩn (MPPS đúng) hoặc bằng quy trình
thay thế (cỡ hạt khác với MPPS). Quy trình được chọn phải được chỉ thị rõ trong
báo cáo thử nghiệm.
Ví dụ 1: Phin lọc được thử nghiệm bằng
quy trình chuẩn:
Độ thấu qua 99,999 95% đối với
MPPS theo TCVN 11487-1 (ISO 29463-1). Phin lọc là loại ISO 65 U.
Ví dụ 2: Phin lọc được thử nghiệm bằng
quy trình thay thế:
Hiệu suất 99,999 98% đối với
MPPS theo Phụ lục A của TCVN 11487-1:2016 (ISO 29463-1:2011), quy trình thay thế.
Phin lọc là loại ISO 65 U theo TCVN 11487-1 (ISO 29463-1).
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
(Quy
định)
Thử nghiệm và phân loại phin lọc sử dụng môi
trường sợi tổng hợp (tích điện)
C.1 Đặt vấn đề
Trong những năm gần đây, vật liệu lọc
sợi tổng hợp có hiệu suất danh nghĩa trong khoảng 99,95% đã trở nên có sẵn. Hiệu
suất cao thường đạt được bằng cách sử dụng các sợi có đường kính nhỏ và bằng
cách tăng tính chất lọc bằng nạp tĩnh điện cho sợi. Một số quy trình có sẵn và
đã được cấp bằng sáng chế về tích điện cho sợi đã được biết đến, với những công
bố tính năng khác nhau. Dự kiến các phin lọc có sẵn ngoài thị trường sử dụng
môi trường này sẽ được coi là lựa chọn thay thế cho phin lọc hiệu suất cao truyền
thống bằng môi trường sợi thủy tinh.
Không giống như các bộ lắng tích tĩnh
điện mà sử dụng năng lượng bên ngoài để duy trì điện tích, thì điện tích tĩnh
trong môi trường này mất đi theo thời gian (thông qua sự trung hòa điện tích bằng
các hạt thu được). Sự mất dần điện tích là đặc biệt rõ ràng khi sử dụng chất lỏng,
các hạt siêu nhỏ hoặc hạt tích điện. Do đó, tính năng của những phin lọc tích
điện này thay đổi đáng kể tùy thuộc vào điều kiện thử nghiệm và đặc biệt là với
các loại vật liệu sol khí được sử dụng. Ngoài ra, tính năng của phin lọc sẽ giảm
đi theo thời gian sử dụng vì chúng tích lại các hạt. Trong một số trường hợp,
hiệu năng của phin lọc cũng giảm đi một vài bậc khi tất cả các hiệu ứng tích điện
bị giảm. Vì các nhóm
phin lọc E, nhóm H hoặc nhóm U thường được áp dụng trong các ứng dụng quan trọng
và phục vụ liên tục, thường trong nhiều năm, nên cần xem xét các tác động xấu đến
hiệu năng khi thử nghiệm và phân loại những cái lọc này.
C.2 Khái quát
Phụ lục này là bắt buộc đối với tất cả
các vật liệu lọc có nhiều thành phần hơn 20% tỷ lệ phần trăm về khối lượng vật
liệu tổng hợp (tức là: các vật liệu khác với thủy tinh). Đối với vật liệu lọc sợi
thủy tinh ướt, thì đã được chứng minh rằng ảnh hưởng của điện tích lên các sợi
thủy tinh là không liên quan đến hiệu suất của chúng. Do đó, vật liệu lọc sợi
thủy tinh lọc ướt không phải thực hiện phép thử này.
C.3 Quy trình thử
nghiệm và phân loại các phin lọc nhóm E và nhóm U sử dụng môi trường sợi tổng hợp
(tích điện)
Áp dụng như sau:
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
b) Sau khi thử nghiệm trong tình trạng
mới, trạng thái có khả năng tích điện, các mẫu vật liệu lọc tấm phẳng phải được
phóng điện, sử dụng quy trình phóng điện được đưa ra trong Phụ lục A của ISO/TS
21220:2009. Có thể sử dụng các quy trình phóng điện nếu cho thấy phương pháp
thay thế phóng điện ở cùng mức tương tự như quy trình tham chiếu trong Phụ lục A của
ISO/TS 21220:2009.
c) Thử nghiệm thấu qua MPPS vật liệu lọc
tấm phẳng theo TCVN 11487-3 (ISO 29463-3) cần được lặp lại
ngay với các mẫu vật liệu lọc tấm phẳng đã phóng điện.
d) Độ thấu qua và phân loại phần tử lọc
với tất cả vật liệu lọc sợi tổng hợp tích điện phải được báo cáo dựa trên các giá
trị đo trung bình đạt được với các mẫu vật liệu lọc tấm phẳng đã phóng điện nếu độ
thấu qua trong điều kiện đã phóng điện nhiều hơn hai lần so với độ thấu qua khi
ở điều kiện tích điện.
C.4 Ban hành dữ
liệu và ghi nhãn sản phẩm cho các phin lọc nhóm H và nhóm U sử dụng môi trường
sợi tổng hợp (tích điện)
Nếu độ thấu qua trong điều kiện phóng
điện lớn hơn trên hai lần độ thấu qua trong điều kiện tích điện, thì phải áp dụng
các quy tắc sau đây bổ sung cho quy định này, đã đề cập trong Điều 10, cho việc
ban hành dữ liệu và ghi nhãn sản phẩm đã làm với vật liệu lọc sợi tổng hợp tích
điện.
- Chỉ thị rằng vật liệu lọc chứa sợi tổng hợp
tích điện theo Phụ lục C của TCVN 11487-5:2016 (ISO 29463-5:2011).
- Độ thấu qua MPPS phải được chỉ ra
trong tất cả các tài liệu có liên quan và ghi nhãn như giá trị đo được trong điều
kiện phin lọc phóng điện hoàn toàn theo Phụ lục C của tiêu chuẩn này.
- Việc phân loại phin lọc phải được
xác định và được chỉ thị trong tất cả các tài liệu có liên quan và ghi nhãn
trên cơ sở các giá trị độ thấu qua đo được trong điều kiện phóng điện hoàn toàn
của vật liệu lọc.
- Hiệu suất MPPS trong điều kiện tích
điện mới của vật liệu lọc có thể được chỉ thị thêm thông tin, miễn là thông tin
này được ấn định rõ ràng rằng giá trị này chỉ có liên quan tới tình trạng tích
điện mới của phin lọc. Giá trị hiệu suất MPPS được sử dụng cho điều kiện tích
điện mới của vật liệu lọc có thể thu được từ phép đo được thực hiện với tất cả
đơn vị lọc hoặc sử dụng giá trị trung bình của các phép đo với năm mẫu vật liệu
lọc dạng tấm phẳng (xem C.3).
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
Hiệu suất 99,95% đối với MPPS trong điều
kiện phóng điện theo Phụ lục C của ISO 29463-5:2011. Phin lọc loại ISO 35 H phù
hợp với ISO 29463-1 và ISO 29463-5.
CHÚ THÍCH: Trong ví dụ này, hiệu suất
và phân loại được đưa ra chỉ đối với điều kiện phóng điện.
VÍ DỤ 2:
Hiệu suất 99,95% đối với MPPS trong điều
kiện phóng điện theo Phụ lục C của tiêu chuẩn này. Hiệu suất 99,995% đối với
MPPS trong điều kiện tích điện mới theo Phụ lục C của TCVN 11487-5:2016 (ISO
29463-5:2011). Khi đó, phin lọc là loại ISO 35 H theo TCVN 11487-1 (ISO
29463-1) và Phụ lục C của Tiêu chuẩn này.
Trong ví dụ này, hiệu suất được đưa ra
cho cả hai điều kiện tích điện và phóng điện, nhưng việc phân loại phải luôn
luôn và chỉ cho điều kiện phóng điện.
Phụ
lục D
(Tham
khảo)
Phương pháp truyền thống thử nghiệm hiệu suất
đối với phin lọc HEPA và ULPA
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
Thử nghiệm phin lọc HEPA và phin lọc
ULPA được thực hiện bằng các phương pháp khác nhau. Mặc dù tất cả các phương
pháp nhằm mục đích để đo hiệu suất lọc. Nhưng để đạt được điều đó, mỗi phương
pháp lại có các cách khác nhau. Bản tóm tắt về phương pháp truyền thống thường
sử dụng cho dưới đây nhằm cung cấp thông tin cho người sử dụng. Thừa nhận rằng có
một số kết quả liên quan đến sự tương đương giữa phương pháp này và phương pháp
chuẩn quy định trong tiêu chuẩn này đã được ghi lại từ một số nghiên cứu trên
thế giới. Tuy nhiên, không có sự tương đương giữa các phương pháp này và phương
pháp chuẩn được.
D.2 Phương pháp
thử độ thấu qua khói DOP
Những phin lọc thử nghiệm với sol khí
thu được bằng cách ngưng tụ hơi DOP và phát hiện bằng quang kế vẫn là phép thử
phin lọc HEPA chính trong hơn 50 năm. Phương pháp này thường được gọi là thử
nghiệm DOP nóng như đã nêu chi tiết trong US Military Standard 282. Trong
phương pháp này, nồng độ sol khí được đo bằng quang kế trước và sau phin lọc.
Hiệu suất của phin lọc được xác định từ các phép đo này. Các sol khí DOP tạo ra
thường có cỡ hạt trung bình khoảng 0,18 μm (khối lượng trung bình đa số 0,3 μm).
Do đó, đối với những phin lọc HEPA điển hình, độ thấu qua bộ lọc được biết đến
là tương tự như ở MPPS.
D.3 Phương pháp
thử ngọn lửa natri
Phương pháp thử này phát triển ở Anh
hơn 50 năm trước đây và vẫn tiếp tục được sử dụng ở Trung Quốc để thử nghiệm vật
liệu lọc HEPA và ULPA. Phương pháp và thiết bị được cải tiến về phương pháp ban
đầu. Trong phương pháp này, không giống như phương pháp đếm hạt hoặc đo quang kế,
mà tổng nồng độ khối lượng của sol khí chịu ngọn lửa natri clorua có khối lượng
cỡ trung bình là 0,5 μm được đo bằng kỹ thuật quang kế ngọn lửa. Chi tiết về
phương pháp được mô tả trong tiêu chuẩn quốc gia của Trung Quốc. Hiệu suất của
phin lọc được xác định từ nồng độ sol khí trước và sau phin lọc.
Thư mục tài
liệu tham khảo
[1] ISO 2859-1, Sampling procedures
for inspection by attributes - Part 1: Sampling
schemes indexed by acceptance quality limit (AQL) for lot-by-lot inspection.
[2] ISO 9000, Quality management
systems - Fundamentals
and vocabulary.
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66
[4] EN 1822-1, High efficiency
particulate air filters (EPA, HEPA and ULPA) - Part 1:
Classification, performance testing, marking.
[5] EN 1822-2, High efficiency
particulate air filters (EPA, HEPA and ULPA) - Part 2: Aerosol production,
measuring equipment, particle counting statistics.
[6] EN 1822-3, High efficiency particulate
air filters (EPA, HEPA and ULPA) - Part 3: Testing flat sheet filter media.
[7] EN 1822-4, High efficiency particulate
air filters (EPA, HEPA and ULPA) - Part 4:
Determining leakage of filter elements (scan method).
[8] IESTRPCC001, HEPA and ULPA
Filters, Inst, of Env. Science and Technology, Arlington Hts, IL, USA
[9] IEST RP CC 007, Testing ULPA
filters, Inst, of Env. Science and Technology, Arlington Hts, IL, USA.
[10] IEST RP CC 013, Calibration
Procedures and Guidelines for Select Equipment Used in Testing Cleanrooms and
other Controlled Environments, Inst, of Env. Science and Technology,
Arlington Hts, IL, USA.
[11] IEST RPCC 021, Testing HEPA
and ULPA Media, Inst, of Env. Science and Technology, Arlington Hts, IL,
USA.
[12] IEST RPCC 034, Leak Testing
HEPA and ULPA filters, Inst, of Env. Science and Technology, Arlington Hts,
IL, USA.
...
...
...
Bạn phải
đăng nhập hoặc
đăng ký Thành Viên
TVPL Pro để sử dụng được đầy đủ các tiện ích gia tăng liên quan đến nội dung TCVN.
Mọi chi tiết xin liên hệ:
ĐT: (028) 3930 3279 DĐ: 0906 22 99 66